直接觀察大試樣的原始表面。它能夠直接觀察直徑100 mm,高50 mm,或更大尺寸的試樣,對試樣的形狀沒有任何限制,粗糙的表面也能觀察,這便免除了制備樣品的麻煩,而且能真實(shí)觀察試樣本身物質(zhì)成分不同的襯度(背反射電子象)。
觀察厚試樣。其在觀察厚試樣時(shí),能得到高的分辨率和真實(shí)的形貌。掃描電子顯微的分辨率介于光學(xué)顯微鏡和透射電子顯微鏡之間。但在對厚塊試樣的觀察進(jìn)行比較時(shí),因?yàn)樵谕干潆娮语@微鏡中還要采用復(fù)膜方法,而復(fù)膜的分辨率通常只能達(dá)到10 nm,透射電鏡測試服務(wù),且觀察的不是試樣本身,因此,用掃描電子顯微鏡觀察厚塊試樣更有利,更能得到真實(shí)的試樣表面資料。
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