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掃描電子顯微鏡類型多樣，不同類型的掃描電子顯微鏡存在性能上的差異。根據(jù)電子種類可分為三種：場(chǎng)發(fā)射電子、鎢絲和六硼化鑭  。其中，場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡根據(jù)光源性能可分為冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡和熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡。冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡對(duì)真空條件要求高，束流不穩(wěn)定，發(fā)射體使用壽命短，需要定時(shí)對(duì)針尖進(jìn)行清洗，僅局限于單一的圖像觀察，應(yīng)用范圍有限；而熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡不僅連續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng)，還能與多種附件搭配實(shí)現(xiàn)綜合分析。在地質(zhì)領(lǐng)域中，我們不僅需要對(duì)樣品進(jìn)行初步形貌觀察，還需要結(jié)合分析儀對(duì)樣品的其它性質(zhì)進(jìn)行分析，所以熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡的應(yīng)用更為廣泛。

衍射圖樣的動(dòng)態(tài)范圍通常非常大。對(duì)于晶體樣品，這個(gè)動(dòng)態(tài)范圍通常超出了CCD所能記錄的大范圍。因此TEM通常裝備有膠卷暗盒以記錄這些圖像。對(duì)衍射圖樣點(diǎn)對(duì)點(diǎn)的分析非常復(fù)雜，這是由于圖像與樣品的厚度和方向、物鏡的失焦、球面像差和色差等等因素都有非常密切的關(guān)系。盡管可以對(duì)格點(diǎn)圖像對(duì)比度進(jìn)行定量的解釋，然而分析本質(zhì)上非常復(fù)雜，需要大量的計(jì)算機(jī)來計(jì)算。衍射平面還有更加復(fù)雜的表現(xiàn)，例如晶體格點(diǎn)的多次衍射造成的菊池線。在會(huì)聚電子束衍射技術(shù)中，會(huì)聚電子束在樣品表面形成一個(gè)極細(xì)的探針，植物半薄切片技術(shù)服務(wù)，從而產(chǎn)生了不平行的會(huì)聚波前，而匯聚電子束與樣品的作用可以提供樣品結(jié)構(gòu)以外的信息，例如樣品的厚度等等。

盛放樣品的銅網(wǎng)根據(jù)需要可以是多種多樣的，直徑一般均為3mm ，通常銅網(wǎng)上有多少個(gè)柵格，我們就把它稱作多少目。之所以選擇銅制作樣品網(wǎng)，是由于它不會(huì)與電子束及電磁場(chǎng)發(fā)生作用，同理還可以選擇其他導(dǎo)磁率低的金屬材料（如鎳）制作樣品網(wǎng)，樣品網(wǎng)屬于易耗品，銅網(wǎng)加工容易、成本低，故使用十分普及。

透射電鏡常見的樣品臺(tái)有2種：

①頂入式樣品臺(tái)，要求樣品室空間大，一次可放入多個(gè)（常見為6個(gè)）樣品網(wǎng)，樣品網(wǎng)盛載杯呈環(huán)狀排列。使用時(shí)可以依靠機(jī)械手裝置進(jìn)行依次交換。優(yōu)點(diǎn)是每觀察完多個(gè)樣品后，才在更換樣品時(shí)破壞一次樣品室的真空，比較方便、省時(shí)間；但所需空間太大，致使樣品距下面物鏡的距離較遠(yuǎn)，不適于縮短物鏡焦距，會(huì)影響電鏡分辨力的提高。

②側(cè)插式樣品臺(tái)，樣品臺(tái)制成桿狀，樣品網(wǎng)載放在前端，只能盛放1～2個(gè)銅網(wǎng)。樣品臺(tái)的體積小，所占空間也小，可以設(shè)置在物鏡內(nèi)部的上半端，有利于電鏡分辨率的提高。缺點(diǎn)是一次不能同時(shí)放入多個(gè)樣品網(wǎng)，每次更換樣品必須破壞一次樣品室的真空，略嫌不便。

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