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復(fù)眼透射電鏡檢測(cè)服務(wù)-武漢科銳諾

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早期電鏡中曾采用過(guò)機(jī)械式消像散器，利用手動(dòng)機(jī)械裝置來(lái)調(diào)整電磁透鏡周圍的小磁鐵 組成的消像散器，來(lái)改變透鏡磁場(chǎng)分布的缺陷。但由于調(diào)整的性和使用的方便性均難令人滿意，這種方式已被淘汰。消像散器由圍繞光軸對(duì)稱環(huán)狀均勻分布的8個(gè)小電磁線圈構(gòu)成，用以消除（或減?。╇姶磐哥R因材料、加工、污染等因素造成的像散。其中每4個(gè)互相垂直的線圈為1組，在任一直徑方向上的2個(gè)線圈產(chǎn)生的磁場(chǎng)方向相反，用2組控制電路來(lái)分別調(diào)節(jié)這2組線圈中的直流電流的大小和方向，即能產(chǎn)生1個(gè)強(qiáng)度和方向可變的合成磁場(chǎng)，復(fù)眼透射電鏡檢測(cè)服務(wù)，以補(bǔ)償透鏡中所原有的不均勻磁場(chǎng)缺陷（圖中橢圓形實(shí)線），以達(dá)到消除或降低軸上像散的效果。

分辨率是掃描電鏡基本的性能判斷指標(biāo)，首先我們要弄清掃描電鏡分辨率的一些細(xì)節(jié)問(wèn)題。

通常有關(guān)分辨率的問(wèn)題，都會(huì)遵循瑞利判據(jù)。即一個(gè)光點(diǎn)按照衍射理論會(huì)是一個(gè)衍射斑，兩個(gè)光點(diǎn)逐步靠近時(shí)，對(duì)應(yīng)的衍射斑也從分離趨于重合。當(dāng)兩個(gè)衍射斑的半高寬重疊，則認(rèn)為不可區(qū)分了。此時(shí)兩個(gè)衍射斑之間的距離即為分辨率，。

但一般單幀圖像的儀器才完全符合此規(guī)律，比如TEM、光學(xué)顯微鏡等。掃描電鏡的分辨率以瑞利判據(jù)為基礎(chǔ)，但也卻略有不同。掃描電鏡是屬于電子束移動(dòng)型的，并不完全適用半高寬重合的概念。

掃描電鏡的分辨率分為理論分辨率、驗(yàn)收分辨率，和一般測(cè)試過(guò)程中能達(dá)到的分辨率。

陽(yáng)極 為一中心有孔的金屬圓筒，處在陰極下方，當(dāng)陽(yáng)極上加有 數(shù)十千伏或上百千伏的正高壓??加速電壓時(shí)，將對(duì)陰極受熱發(fā)射出來(lái)的自由電子產(chǎn)生強(qiáng)烈的引力作用，并使之從雜亂無(wú)章的狀態(tài)變?yōu)橛行虻亩ㄏ蜻\(yùn)動(dòng)， 同時(shí)把自由電子加速到一定的運(yùn)動(dòng)速度（與加速電壓有關(guān)，前面已經(jīng)討論過(guò)）， 形成一股束流射向陽(yáng)極靶面。凡在軸心運(yùn)動(dòng)的電子束流，將穿過(guò)陽(yáng)極中心的圓孔射出電子外，成為照射樣品的光源。

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