熱壓法:ITO靶材的熱壓制作過程是在石墨或氧化鋁制的模具內(nèi)充填入適當粉末以后,以 100kgf/cm 2~1000kgf/cm 2的壓力單軸向加壓,同時以1000℃~1600℃進行燒結(jié)。熱壓工藝制作過程所需的成型壓力較小,燒結(jié)溫度較低,燒結(jié)時間較短。但熱壓法生產(chǎn)的ITO靶材由于缺氧率高,氧含量分布不均勻,從而影響了生產(chǎn)ITO薄膜的均勻性,且不能生產(chǎn)大尺寸的靶。
超純金屬的制備有化學提純法如精餾(特別是金屬氯化物的精餾及氫還原)、升華、溶劑萃取等和物理提純法如區(qū)熔提純等(見硅、鍺、鋁、銦)。其中以區(qū)熔提純或區(qū)熔提純與其他方法相 結(jié)合有效。
由于容器與藥劑中雜質(zhì)的污染,使得到的金屬純度受到一定的限制,只有用化學方法將金屬提純到一定純度之后,再用物理方法如區(qū)熔提純,才能將金屬純度提到一個新的高度??梢杂冒雽w材料鍺及超純金屬鋁為例說明典型的超純金屬制備及檢測的原理(見區(qū)域熔煉)。
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