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陶瓷靶材
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什么是靶材綁定？靶材綁定的適用范圍、流程？
綁定是指用焊料將靶材與背靶焊接起來。主要有三種的方式：壓接、釬焊和導(dǎo)電膠。
1.壓接：采用壓條，玫瑰金靶材誰家好，一般為了提高接觸的良好性，會增加石墨紙、Pb或In皮；
2.釬焊：一般使用軟釬料的情況下，要求濺射功率小于20W/cm2，釬料常用In、Sn、In-Sn；我司采用銦焊綁定技術(shù)。
3.導(dǎo)電膠：采用的導(dǎo)電膠要耐高溫，厚度在0.02-0.05um。
超純金屬的檢測方法極為困難。痕量元素的化學(xué)分析系指一克樣品中含有微克級（10克/克）、毫微克級（10克/克）、微微克級（10克/克）雜質(zhì)的確定。常用的手段有中子和帶電粒子活化分析，原子吸收光譜分析，熒光分光光度分析，質(zhì)譜分析，化學(xué)光譜分析及氣體分析等。在單晶體高純材料中，晶體缺陷對材料性能起顯著影響，稱為物理雜質(zhì)，主要依靠在晶體生長過程中控制單晶平穩(wěn)均勻的生長來減少晶體缺陷。
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第9年
