輔助真空系統(tǒng):對子漏氣速率和放氣速率較大或者體積較大的被檢件,若直接與檢漏儀相連,檢漏儀的真空度可能抽不上去,使檢漏儀無法工作。此種情況須加接輔助真空系統(tǒng),提高對被檢件的抽速。比較簡單的輔助真空系統(tǒng)只需一個機械泵和兩個閥門,復(fù)雜的系統(tǒng)可由前級泵、次級泵、閥門、真空規(guī)及標(biāo)準漏孔等組成。次級泵可用擴散系或羅茨泵,前級系用氣鎮(zhèn)式機械泵比較好。
氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏原理及方式:氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式,氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,一種為常規(guī)檢漏,另一種為逆擴散檢漏。逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端,漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。這一檢漏方式是基于分子泵對不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比)即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設(shè)計的。逆擴散原理:逆擴散方式檢漏允許被檢件內(nèi)壓強較高,氦質(zhì)譜檢漏儀可達300Pa(一般常規(guī)檢漏儀為0.05Pa以下),適合檢大型容器或有大漏的器件,徐州板,也適合吸檢漏。逆擴散方式還具有質(zhì)譜管不易受污染,雙極板,燈絲壽命長等優(yōu)點。
差壓法氣密性檢測的工作循環(huán)包括4個過程,雙極板價格,即充氣過程、平衡過程、檢測過程和排氣過程。(2)平衡過程:關(guān)閉充氣閥、測漏閥,截斷氣源與標(biāo)準容器、被測工件的通路,由于充氣及關(guān)閉閥的動作會引起容器內(nèi)氣體壓力的脈動,導(dǎo)致標(biāo)準容器與被測工件間的差壓不穩(wěn)定,呈現(xiàn)出無規(guī)則的變化,必須延遲一段時間,待差壓值穩(wěn)定后才能測量差壓變化。(3)檢測過程:檢測差壓傳感器的輸出,由于泄漏產(chǎn)生的壓力降在測試壓力附近近似的與時間成正比,因此可以測量出在一定時間內(nèi)差壓的變化值。(4)排氣過程:待測量完差壓的變化值,標(biāo)準容器、被測工件內(nèi)的剩余氣體通過氣閥排到大氣里,結(jié)束一個檢測過程。
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