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早期電鏡中曾采用過(guò)機(jī)械式消像散器，利用手動(dòng)機(jī)械裝置來(lái)調(diào)整電磁透鏡周?chē)男〈盆F 組成的消像散器，來(lái)改變透鏡磁場(chǎng)分布的缺陷。但由于調(diào)整的性和使用的方便性均難令人滿(mǎn)意，這種方式已被淘汰。消像散器由圍繞光軸對(duì)稱(chēng)環(huán)狀均勻分布的8個(gè)小電磁線(xiàn)圈構(gòu)成，用以消除（或減?。╇姶磐哥R因材料、加工、污染等因素造成的像散。其中每4個(gè)互相垂直的線(xiàn)圈為1組，在任一直徑方向上的2個(gè)線(xiàn)圈產(chǎn)生的磁場(chǎng)方向相反，用2組控制電路來(lái)分別調(diào)節(jié)這2組線(xiàn)圈中的直流電流的大小和方向，即能產(chǎn)生1個(gè)強(qiáng)度和方向可變的合成磁場(chǎng)，以補(bǔ)償透鏡中所原有的不均勻磁場(chǎng)缺陷（圖中橢圓形實(shí)線(xiàn)），以達(dá)到消除或降低軸上像散的效果。

觀(guān)察試樣的各個(gè)區(qū)域的細(xì)節(jié)。試樣在樣品室中可動(dòng)的范圍非常大。其他方式顯微鏡的工作距離通常只有2～3cm，故實(shí)際上只許可試樣在兩度空間內(nèi)運(yùn)動(dòng)。但在掃描電子顯微鏡中則不同，由于工作距離大（可大于20 mm），焦深大（比透射電子顯微鏡大10倍），樣品室的空間也大，因此，可以讓試樣在三度空間內(nèi)有6個(gè)自由度運(yùn)動(dòng)（即三度空間平移，三度空間旋轉(zhuǎn)），且可動(dòng)范圍大，這對(duì)觀(guān)察不規(guī)則形狀試樣的各個(gè)區(qū)域細(xì)節(jié)帶來(lái)極大的方便。

電子束的掃描是根據(jù)放大倍數(shù)和采集像素大小而進(jìn)行了馬賽克的像素化，只要束斑縮小到和單點(diǎn)像素匹配就可以，束斑與束斑之間不會(huì)出現(xiàn)太多的重疊而導(dǎo)致分辨率下降。只有束斑與單點(diǎn)像素匹配后，再縮小束斑已經(jīng)沒(méi)有意義，不會(huì)帶來(lái)分辨率的提升，鈣離子定位電鏡技術(shù)服務(wù)，相反會(huì)引起信息的缺失。由此我們可以得到新的結(jié)論，雖然束斑越小理論分辨率越高，但是對(duì)于實(shí)際拍攝來(lái)說(shuō)，像素和束斑越匹配才是效果越好。

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