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光學(xué)材料凈化車間設(shè)計(jì)

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凈化方案一：組合式空氣處理機(jī)組+冷水機(jī)組+高效送風(fēng)口：這是一個(gè)傳統(tǒng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案。組合式空氣處理機(jī)組里含有各種功能段，如混合段、初效過(guò)濾段、表冷段、二次回風(fēng)段(或中間段)加熱段、加濕段、中效過(guò)濾段、風(fēng)機(jī)段等。其冷源由冷水機(jī)組提供。凈化方案二：水冷柜機(jī)+增壓風(fēng)柜+高效送風(fēng)口：與前種方案比較，這是相對(duì)比較簡(jiǎn)單的空調(diào)方案。它可以大大地縮小機(jī)房的面積，水冷柜機(jī)可以根據(jù)具體的情況布置于較小機(jī)房?jī)?nèi)或凈化車間內(nèi)，增壓風(fēng)柜也可以布置于機(jī)房?jī)?nèi)或吊在機(jī)房?jī)?nèi)或在夾層內(nèi)。

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保濕性能好，強(qiáng)度高，隔熱保溫，光學(xué)材料凈化車間設(shè)計(jì)，芯材導(dǎo)熱系數(shù)：λ

和其他產(chǎn)業(yè)不同，集成電路產(chǎn)業(yè)鏈幾乎所有環(huán)節(jié)都需要在潔凈室內(nèi)完成，從單晶硅片制造，到IC制造的幾乎所有環(huán)節(jié)，到IC封裝都需要在潔凈室中完成，且對(duì)于潔凈度的要求非常高。如，14納米工藝中7納米的微粒就會(huì)影響制造過(guò)程。集成電路制造過(guò)程需要的潔凈程度越來(lái)越高，對(duì)于潔凈室工程的技術(shù)提出越來(lái)越高的要求。潔凈室工程是集成電路制造環(huán)節(jié)中重要的一環(huán)，直接決定了終產(chǎn)品的成敗。

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