鍍膜靶材是通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統(tǒng)在適當(dāng)工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。簡單說的話,貴金屬復(fù)合材料報價,靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標(biāo)材料,不同功率密度、不同輸出波形、不同波長的激光與不同的靶材相互作用時,會產(chǎn)生不同的殺傷破壞效應(yīng)。
各種類型的濺射薄膜材料在半導(dǎo)體集成電路(VLSI)、光碟、平面顯示器以及工件的表面涂層等方面都得到了廣泛的應(yīng)用。20世紀(jì)90年代以來,濺射靶材及濺射技術(shù)的同步發(fā)展,極大地滿足了各種新型電子元器件發(fā)展的需求。
眾所周知,靶材材料的技術(shù)發(fā)展趨勢與下游應(yīng)用產(chǎn)業(yè)的薄膜技術(shù)發(fā)展趨勢息息相關(guān),隨著應(yīng)用產(chǎn)業(yè)在薄膜產(chǎn)品或元件上的技術(shù)改進(jìn),靶材技術(shù)也應(yīng)隨之變化。如Ic制造商.近段時間致力于低電阻率銅布線的開發(fā),貴金屬復(fù)合材料哪家好,預(yù)計未來幾年將大幅度取代原來的鋁膜,這樣銅靶及其所需阻擋層靶材的開發(fā)將刻不容緩。另外,鞍山貴金屬復(fù)合材料,近年來平面顯示器(FPD)大幅度取代原以陰極射線管(CRT)為主的電腦顯示器及電視機市場.亦將大幅增加ITO靶材的技術(shù)與市場需求。此外在存儲技術(shù)方面。高密度、大容量硬盤,高密度的可擦寫光盤的需求持續(xù)增加.這些均導(dǎo)致應(yīng)用產(chǎn)業(yè)對靶材的需求發(fā)生變化。下面我們將分別介紹靶材的主要應(yīng)用領(lǐng)域,以及這些領(lǐng)域靶材發(fā)展的趨勢。
用于復(fù)印機和打印機等的帶電輥、顯影輥、色粉供給輥、轉(zhuǎn)印輥等都必須具備適當(dāng)?shù)姆€(wěn)定的電阻值。
以往,使上述輥筒具有導(dǎo)電性的方法包括采用在橡膠中混入了金屬氧化物粉末和碳黑等導(dǎo)電性填充劑的電子導(dǎo)電性橡膠的方法;采用聚氨酯橡膠、表氯橡膠等離子導(dǎo)電性橡膠(聚合物)或含有季銨鹽等離子導(dǎo)電材料的離子導(dǎo)電性聚合物的組合物的方法。
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