其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的消費制造。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110余種單元特種氣體,工業(yè)氦氣,其中常用的有20~30種。在集成電路制造應(yīng)用方面詳細包括集成電路芯片制程、化學(xué)氣相堆積和氣體應(yīng)用、刻蝕和氣體應(yīng)用、摻雜和氣體應(yīng)用。
在太陽能電池應(yīng)用方面詳細包括太陽能電池的應(yīng)用、晶體硅太陽能電池消費工藝和氣體應(yīng)用、薄膜太陽能電池消費工藝和氣體應(yīng)用;在化合物半導(dǎo)體應(yīng)用方面詳細包括化合物半導(dǎo)體的應(yīng)用、MOCVD/LED消費工藝和氣體應(yīng)用。
電子氣體
電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體,氦氣報價,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當今興起的高技術(shù)含量、高投人、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè) 電子氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)制造、非晶硅太陽能電池、液晶顯 示器件、光導(dǎo)纖維生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)?!“雽?dǎo)體工業(yè)用氣體的特點是品種多、質(zhì)量要求高、用量少,大部分是有毒或腐蝕性氣體。
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